プラズマ産業革新技術

Plasma Technologies for Industrial Innovation

第1章 プラズマ生成・ 装置開発
1　零下から高温まで温度制御できる大気圧マルチガスプラズマ
　1.1　はじめに
　1.2　生命科学分野への応用とその作用機序
　1.3　大気圧低温マルチガスプラズマジェット
　1.4　温度制御プラズマジェット
　1.5　マルチガス温度制御プラズマジェット
　1.6　プラズマによる活性種の生成と殺菌への応用
　1.7　マルチガス高速温度制御プラズマジェットの開発
2 大気圧プラズマ表面処理および装置
　2.1 はじめに
　2.2 大気圧プラズマ装置の構成
　2.3 大気圧プラズマによる表面処理
　2.4 大気圧プラズマ装置
　2.5　おわりに
3　液体・液中分子との相互作用を目的としたプラズマ生成機構の開発
　3.1　プラズマと液体・液中分子との相互作用
　3.2　液体・液中分子との相互作用を可能にするプラズマ生成機構
　3.3　プラズマ処理による化学種の生成特性
　3.4　プラズマ処理による液体の性質変化
　3.5　プラズマ処理による液体の状態変化
　3.6　液体・液中分子との相互作用を目的としたプラズマ生成機構の応用展開
4　パルスパワー電源を用いた電気集塵装置
　4.1　はじめに
　4.2　実験装置および方法
　4.3　結果および検討
　4.4　まとめ
5　DBD方式高濃度オゾン発生装置(開発の歴史)
　5.1　オゾンとは
　5.2　オゾン発生装置
　5.3　オゾン発生に関わるパラメータ
　5.4　高濃度オゾン発生装置の歴史
　5.5　おわりに
6　誘電体バリア放電式オゾン発生装置のオゾン生成特性
　6.1　はじめに
　6.2　オゾン発生の原理
　6.3　DBDとAPTDの特徴
　6.4　空気原料オゾン発生装置のオゾンと副生成物の発生特性
　6.5　おわりに
7　工業用オゾン応用技術
　7.1　工業向けオゾン発生技術
　7.2　極短ギャップ放電のスタンダード化
　7.3　新たなオゾン発生・供給技術
　7.4　オゾンの工業応用

第2章　材料分野への応用
1　大気圧プラズマによる樹脂・ガラスの表面処理技術
　1.1　はじめに
　1.2　プラズマ処理の方法
　1.3　大気圧プラズマグラフト重合処理
　1.4　フィルム接着の性能試験
　1.5　フィルムとガラスの接着
　1.6　おわりに
2　プラズマ・表面加工による接触界面の機械的応答特性制御
　2.1　緒言
　2.2　マイクロ波励起・高密度プラズマによる基材包囲型・超高速成膜・表面処理技術
　2.3　高密度酸素プラズマ処理による医療用ゴム材料(CIIR シート)とステンレス鋼との付着力低減
　2.4　最後に
3　低電力大気圧マイクロ波プラズマ溶射による樹脂基材への金属・セラミックス成膜
　3.1　はじめに
　3.2　低電力大気圧マイクロ波プラズマ溶射
　3.3　樹脂基材への溶射成膜
　3.4　おわりに
4　ソリューションプラズマによる亜酸化銅担持技術を用いた可視光応答型光触媒材料の開発
　4.1　はじめに
　4.2　SP法の原理
　4.3　SPによるWO3へのCu2O担持方法
　4.4　Cu2O担持WO3の物理化学的特性
　4.5　光触媒特性評価
　4.6　おわりに
5　真空および大気圧中における鋼のプラズマ窒化処理法の開発
　5.1　金属の表面改質のためのプラズマ窒化処理
　5.2　プラズマ窒化処理メカニズム
　5.3　窒化層の構造と特徴
　5.4　代表的な近年のプラズマ窒化処理法の特徴
6　銅箔との直接接着を可能にするフッ素樹脂の表面改質技術
　6.1　はじめに
　6.2　フッ素樹脂の表面改質
　6.3　フッ素樹脂のプラズマ表面改質
　6.4　フッ素樹脂と銅の直接接着
　6.5　まとめと今後への展望
7　大気圧プラズマによる接着・接合前処理技術
　7.1　はじめに
　7.2　プラズマについて
　7.3　樹脂の表面改質について
　7.4　金属の表面改質
　7.5　金属表面の有機物除去
　7.6　異種材料への活用
　7.7　おわりに
8　半導体パッケージング工程におけるプラズマクリーニング技術とその応用
　8.1　はじめに
　8.2　プラズマクリーニングにおける接合性改善のメカニズム
　8.3　プラズマクリーニングにおける密着性改善のメカニズム
　8.4　モールド樹脂の密着性改善に最適なプラズマ条件
　8.5　モールド密着性のシェア強度試験
　8.6　アンダーフィルプロセスへの応用
　8.7　おわりに
9　プラズマ・有機金属ガス供給統合モジュールを用いた窒化物半導体薄膜の新規エピタキシー成長
　9.1　はじめに
　9.2　新規エピタキシー成長技術
　9.3　結晶成長実験
　9.4　将来展望
10　高周波液中プラズマの生成とその材料応用
　10.1　液中プラズマの発生手法
　10.2　高周波液中プラズマによる炭素材料合成
　10.3 キャビテーションを併用した高周波液中プラズマによる炭素材料合成
　10.4　高周波液中プラズマによる炭素材料改質

第3章　環境分野への応用
1　非平衡プラズマによるCO2転換効率の向上
　1.1　はじめに
　1.2　プラズマ vs プラズマ触媒
　1.3　無触媒プラズマ技術
　1.4　プラズマと触媒の複合反応
　1.5　おわりに
2　燃料電池を用いた環境低負荷型非熱プラズマ水質浄化技術
　2.1　はじめに
　2.2　水の浄化原理
　2.3　水の浄化実験および結果
　2.4　まとめ
3　水中プラズマを使った大容量・高速水処理装置
　3.1　はじめに
　3.2　処理装置構成,リアクタ構造,プラズマ発生
　3.3　脱色効果,殺菌,プランクトンの殺滅
　3.4　リアクタの改善
　3.5　電極の改善
　3.6　まとめ,今後の展開
4　水中パルス放電プラズマと超音波の複合排水処理
　4.1　はじめに
　4.2　実験装置及び方法
　4.3　実験結果と考察
　4.4　おわりに
5　プラズマを用いた水中難分解性物質の分解技術
　5.1　はじめに
　5.2　プラズマと水との反応によるOHの生成
　5.3　OHの直接的な生成と利用
　5.4　OHの間接的な生成と利用
　5.5　各種放電処理方式における分解効率と分解速度について
6　大気圧プラズマの木質バイオマス熱分解ガス化への応用
　6.1　はじめに
　6.2　木質バイオマス利用の意義
　6.3　木質バイオマスの熱分解ガス化
　6.4　大気圧プラズマの木質バイオマスガス化への応用
　6.5　おわりに
7　プラズマメンブレンリアクターによる高効率水素分離法
　7.1　はじめに
　7.2　純水素製造における課題
　7.3　プラズマメンブレンリアクターの開発
　7.4　まとめ
8　湿式プラズマVOC処理装置の開発
　8.1　はじめに
　8.2　湿式プラズマ技術
　8.3　湿式プラズマ技術によるVOCの除去
　8.4　今後の展望

第4章　農業・医療・バイオ分野への応用
1　高電圧・プラズマ技術の基礎と農業への活用事例
　1.1　はじめに
　1.2　農業分野での高電圧・プラズマ利用の歴史
　1.3　農業生産における高電圧・プラズマ利用
　1.4　高電圧を用いた鮮度維持
2　プラズマ照射によるレタスの抗酸化能の改善
　2.1　はじめに
　2.2　レタス種子へのプラズマ照射および育成
　2.3　結果と考察
　2.4　まとめ
3　非熱平衡プラズマの包装されたカット野菜への適用
　3.1　はじめに
　3.2　実験装置及び方法
　3.3　実験対象
　3.4　キャベツの葉ごとの菌数の調査
　3.5　キャベツの葉についた一般性菌のプラズマによる殺菌率の検証
　3.6　キャベツの葉に付着しているPseudomonas 属性菌の殺菌率の検証
　3.7　キャベツの表面に付着しているPseudomonas属性菌の殺菌
　3.8　まとめ
4　プラズマによる生体・植物の制御技術
　4.1　はじめに
　4.2　背景　低温プラズマのバイオ応用研究の進展
　4.3　酸素ラジカルの照射による真菌微生物の定量的な殺菌および活性化の制御
　4.4 農作物栽培における低温プラズマ処理による生育・収穫の有効性
5　大気圧低温プラズマ流によるコンタクトレンズ滅菌装置の開発
　5.1　はじめに
　5.2　実験方法
　5.3　実験結果
　5.4　まとめ
6　プラズマ処理水を用いた殺菌および過硝酸を用いた新規殺菌技術
　6.1　プラズマ誘起液中化学反応場
　6.2　低pH法を用いた液体殺菌技術
　6.3　プラズマ処理水を用いた殺菌技術
　6.4　プラズマ処理水中の有効成分とは?
　6.5　化学合成した過硝酸による殺菌技術
　6.6　おわりに
7　液中プラズマの気泡によるバイオメディカル応用技術
　7.1　はじめに
　7.2　マイクロ流路におけるプラズマ気泡生成
　7.3 活性種評価実験
　7.4　液中プラズマ気泡におけるタンパク質結晶生成
　7.5　液中プラズマ気泡によるタンパク質結晶生成実験
　7.6　まとめ