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第1講:クリーンルームの一般知識と実状
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【趣旨】
この第1講では、後に続く内容を理解するために、クリーンルームに関する重要な用語・事項を確認する。特に、クリーンルーム内の気流・塵埃の実状(流れ、発塵、拡散範囲)を見る。
これらは、第3講で出てくる”局所高清浄度域の確保と維持”に重要な関わりを持ってくる。
【プログラム】
1.清浄度を再確認する
1-1 清浄度のイメージと定義
1-2 現実は不均一?
2.クリーンルームの種類
2-1 用途種類・空気の流し方による種類・構造による種類
3.クリーンルーム内の気流の実状
3-1 クリーンルーム内の気流
3-2 模擬製造装置廻りの気流
4.クリーンルーム内の塵埃・ミストの実状
4-1 基本的な性質(気流との関係,拡散範囲)
4-2 物や運動機構からの発塵
【演習問題】
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第2講:作業員の管理と教育,クリーンルームの清掃,国内外関連規格の動向
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【趣旨】
この第2講では、クリーンルームあるいはクリーンエリア内の主要発塵源の一つである人間(作業員)からの発塵機構を解明すると共に、その汚染防止の指針を探る。
また、クリーンスーツ・クリーン手袋・エアシャワーなどについて、正しい認識が持てるようにする。併せて、クリーンルームの清掃について解説する。さらに、国内外関連規格の最新動向についても言及する。
【プログラム】
5.クリーンルーム内の作業員管理と教育
5-1 守るべき大原則
5-2 適正な着用
5-3 人の位置取り・適正な動作
5-4 管理・教育の要点/注意点
5-5 人からの発塵機構(内圧変動,摺動発塵,拡散範囲)
5-6 クリーンスーツの選定方法・洗濯頻度・劣化
5-7 クリーン手袋の扱い
5-8 エアシャワーの効果
6.クリーンルームの清掃
6-1 清掃の種類
6-2 各部位の清掃方法・頻度・注意点
6-3 クリーンルーム運転停止時の塵埃挙動
7.クリーンルームの国内外関連規格の最新動向
7-1 ISO規格、JACA指針、JIS規格など。
表面清浄化のコンセプト、清浄化の対象範囲、汚染とその原因
【演習問題】
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第3講:局所高清浄度域の確保と維持(含,対策指針),その他
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【趣旨】
この第3講では、第1・2講で得た知識・知見に基づき、「局所高清浄度域の確保と維持」について解説する。
そして、歩留まり向上への対策指針と、製造環境の改善事例も示す。
最後に参考文献紹介を付す。
【プログラム】
8.局所高清浄度域の確保と維持
8-1 給排気バランスと流線の制御
8-2 クリーンベンチ内とその周辺気流の制御
8-3 異風速吹出し
8-4 垂直一方向流域と非一方向流域との境界(気流性状,塵埃拡散)
8-5 各種吹出口による気流性状,除塵能力
8-6 可搬式クリーンブースの clean up 特性
8-7 FFU吹出しゾーン内の清浄度確保と維持
8-8 室間差圧(気流性状,風速分布,塵埃拡散)
8-9 まとめ
9.さらなる清浄化への指針(対策)
9-1 微小塵埃/ミスト/気流を見える化(可視化)→ そして対策へ
9-2 普遍的な対策コンセプト
9-3 回避/除去/抑制の手順と考え方
9-4 汚染対策の要点 → 製品の歩留まり改善へ
10.製造環境改善事例
10-1 模擬機器または作業台廻りの気流性状改善
10-2 クリーンベンチ奥の滞留解消
10-3 クリーンベンチ内テーブルの改善
10-4 狭い領域の清浄化
11.参考文献
初級~上級者向けまで、主要なものを紹介
【演習問題】