特許情報分析（パテントマップ）から見たEUV（極端紫外線）光源

技術開発実態分析調査報告書

■本誌の特徴等
１．調査目的
　「EUV（極端紫外線）光源｣に関する公開件数、出願人（共同出願人）、発明者、特許分類、キーワードなどに対し、ランキング、時系列推移、技術分布図など様々な観点から分析したパテントマップおよび、パテントチャートを作成し、
　(1)｢EUV（極端紫外線）光源｣についてどのような技術の公開があるか、
　(2)各企業の技術開発はどのように推移しているか、
　(3)最近10年余における関連技術の出現・消失状況はどのようになっているか、
　(4)各企業間の連携状況はどのようになっているか、
　(5)直近2年間における企業及び技術の注目すべき動向は何か、
　(6)この分野に強い弁理士（特許事務所）と企業の利用状況はどうか、
等を明確にして、今後の開発の指針決定に役立てようとするものである。

２.特許情報の収集方法
　本調査報告書は、「EUV（極端紫外線）光源」に関する過去10年余（国内公開日：2008年1月1日～2018年7月31日）に及ぶ公開特許について、検索、収集した。また、報告書作成には、パテントマップ作成支援ソフト「パテントマップEXZ」（インパテック（株）製）を使用した。
特許情報公報の総数は 9,034件 である。

３．報告書の構成
　本報告書は、以下の３つの部分から構成されている。
１．パテントマップ編
　A．2016年8月～2018年7月に新規出現した出願人、分類による動向分析
　B．全般分析
　C．上位20出願人比較分析
　D．上位5出願人個別分析
　E．特定4出願人比較分析（1位カール･ツァイス･エスエムティー、2位ギガフォトン、3位エーエスエムエルネザーランズ、4位富士フイルム）
　F．上位20特許分類分析
　G．特定特許分類分析
　　　G-1．特定特許分類分析（1）
　　　　・FI分類（深さ18）
　　　　・Fターム分類（深さ10）
　　　G-2．特定特許分類分析（2）
　　　　・Fターム分類（深さ8）
　H．キーワード
　　　※キーワード（発明の名称、要約、請求の範囲、産業上の利用分野、発明の効果、課題手段から抽出）においては、
　　　下記1グループの観点から分析を行った。
　　　・目的・効果系（低コスト、高変換効率、小型化、最適化など8個）
　
　I. 弁理士（特許事務所）の動向分析

２．パテントチャート編

３．総括コメント

４. 本報告書の特徴
●　「ＥＵＶ（極端紫外線）光源」に関する最近10年余、さらには直近2年間（最新月まで）の技術動向が分かりやすく把握できる。
● 本技術分野に関係する弁理士（特許事務所）の動静が読み取れる。
● パテントマップで視覚的に理解しやすい。



━━━━━━━━━≪目次一覧≫━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

はじめに

１．パテントマップ編

A．2016年8月～2018年7月に新規出現した出願人、分類による動向分析
　　直近2年における
　　　・公開件数ランキング(出願人、FI、Fターム別)
　　　・公開件数伸長率
　　など4マップを掲載。

B．全般分析
　　｢テーマ｣の全体動向について
　　　・件数推移、出願人数推移、新規発明者数推移、各新規技術分類数推移のマップ
　　　・出願人、発明者、各技術分類ごとの公開件数ランキングマップ
　　　・出願人、発明者、各技術分類ごとの出現・消失状況マップや伸長率分析マップ
　　　などの23マップを掲載。

C．上位20出願人比較分析
　　上位20出願人を比較分析するための
　　　・件数、共同出願人数、新規発明者数の累計推移を比較するマップ
　　　・上位20出願人と技術分類上位20の相関マップ
　　　・審査権利状況
　　　・保有している発明者数と技術分類数による出願人分布
　　など10マップを掲載。

D．上位5出願人個別分析
　　上位5出願人をそれぞれ個別に分析を行うための
　　　・各社個別の技術分類上位20による公開件数推移マップ
　　　・各社個別の技術分類上位20、キーワード上位20による出現・消失状況マップ
　　　・各社個別の独自技術分類、独自キーワードを分析するマップ
　　　・各社の共同出願人
　　など37マップを掲載。

E．特定4出願人比較分析特定4出願人比較分析（1位カール･ツァイス･エスエムティー、2位ギガフォトン、3位エーエスエムエルネザーランズ、4位富士フイルム）
　　特定4出願人を比較分析するための
　　　・各出願人の技術分類の公開件数、公開件数推移の比較マップ
　　　・各出願人の公開件数の出現・消失状況、伸びの変遷を分析するマップ
　　　・各出願人と技術分類との相関マップ
　　など13マップを掲載。

F．上位20特許分類分析
　　上位20FIサブグループ、上位20Fタームを分析するための
　　　・前期間、後期間による技術分類の公開件数比較マップ
　　　・技術分類別の出願人数、発明者数比較マップ
　　など10マップを掲載。

G．特定特許分類分析
　　G-1では、FI、Fタームを指定し、その分類における
　　　・件数推移、新規出願人数推移、新規発明者数推移を分析するマップ
　　など12マップを掲載。
　　G-2では、Fタームを指定し、その分類における
　　　・出願人別の公開件数マップ、伸長率分析マップ、推移マップ
　　　・指定Fターム同士の件数の相関マップ、指定Fターム同士の出願人数の相関マップ
　　など15マップを掲載。

H．キーワード分析
　　　・キーワードの出現・消失状況を分析するマップ
　　　・キーワードの伸長率を分析するマップ
　　　・目的・効果系キーワードの出願人数、新規発明者数、公開件数の伸びと構成率を分析するマップ
　　の5マップを記載。

I．弁理士（特許事務所）の動向分析
　　　・弁理士別の公開件数、公開件数推移マップ
　　　・上位40弁理士と上位20FIメイングループの相関マップ
　　など3マップを掲載。

２．パテントチャート編

　　パテントチャートでは、特定2出願人を指定し、出願人における
　　　・公報図等を含む時系列チャート、Fターム分類と発明者のマトリクスチャート分析
　　　・特定Fターム分類の技術分類マトリクスチャート
　　　・注目特許のサイテーションマップ
　　など6マップを掲載。

３．　総括コメント
参考資料
【資料3】出願人統合リスト
【資料4】上位5出願人の発明者リスト
【資料5】パテントマップ・パテントチャートの種別と見方