Zoomを使ったWEBセミナーです。在宅、会社にいながらセミナーを受けられます。
１．はじめに
1-1 気相成長原料の過去・現在
1-2 気相成長技術の採用
２．ALDの基礎
2-1 化学吸着とALDサイクル
a TMAとH2O
b H2Oと反応しない原料
c ALDサイクルの初期層
2-2 非化学吸着のよるALDサイクル
a 物理吸着とALDサイクル
b 問題点
３．原料の基礎
3-1 有機金属原料
a 有機金属とは
b 有機金属の合成法
c 有機金属の実用
４．原料の分子設計
4-1 揮発性
a 有機金属結合型
b 共有結合性有機金属
c イオン結合性有機金属
d 蒸気圧向上法
e 蒸気圧測定法
4-2 低融点
a 共有結合とイオン結合
b 低融点化
4-3 分子軌道計算
a 分子間力
b 成長シミュレーション
５．原料の安全性
5-1 消防法危険物
a 引火性
b 発火性
c 水との反応性
d 爆発性
5-2 毒性
a 急性毒性・慢性毒性
b 特に注意すべき原料
６．原料の製造
6-1 量産性
6-2 コスト
７．原料の分解
7-1 熱分解
a 自己分解
b 雰囲気ガス
7-2 分解温度の調整
a 低温化
b 高温化
7-3 保存安定性
a 保存容器
b 保存状態
c 安定剤
８．原料の揮発・輸送
8-1 蒸気圧直接供給
a ガス原料
b 微差圧駆動MFC
8-2 キャリアガスバブリング
a 液体原料
b 溶液原料 --- タイプA, タイプB
c 蒸気圧と揮発性
8-3 ダイレクトリキッドインジェクション
a 液体原料
b 溶液原料
8-4 原料の同時供給
a Pre-reaction
b Adduct形成
９．原料各論
9-1 原料の種類と性質
a タイプA
b タイプB
9-2 族別原料の性質
a 1,2族
b 17族
１０．新しいALD状況
10-1 メタル膜ALD
a ラジカル種を用いたALD
b 新原料を用いたALD
c 第３成膜種利用
10-2 アトミックレイヤーエッチング(ALE)
a 代表例
b ALEのチャレンジ
10-3 低温ALD
a TMAによるAl2O3
b 他の多量体原料
c 各種原料の室温反応性比較
１１．まとめ