半導体露光装置に関する技術動向が分かりやすく把握できる！パテントマップおよびパテントチャートで視覚的に理解しやすい！パテントマップViewer（添付ソフト）により、パテントマップおよびパテントチャートの当該部分に含まれる詳細内容を調べることができる！
１．調査目的：
「半導体露光装置」に関する公開件数、発明者、および特許分類などに対し、時系列推移、技術分布図など様々な観点から分析したパテントマップおよび、パテントチャートを作成し、
① どの関連企業にどのような技術の公開があるか、
② 各企業の技術開発動向はどのように推移しているか、
③ 最近注目する技術は何なのか、
④ 各企業間の連携状況はどのようになっているか
等を明確にして、今後の開発の指針決定に役立てようとするものである。
２．特許情報の収集と処理：
本調査報告書は、「半導体露光装置」に関する過去10年間（国内公開日：2001年～2010年）に及ぶ公開特許について、「特許検索ASPサービスSRPARTNER」（（株）日立システムズ 製）を使用し、検索、収集した。報告書作成にはパテントマップ作成支援ソフト「パテントマップEXZ」（インパテック（株）製）を使用した。特許情報公報の総数は39,296件である。
３．報告書の構成：
本報告書は、次の三つの部分から構成されている。
Ⅰ． パテントマップ編
Ａ．全般分析
Ｂ．詳細（出願人、特許分類、キーワード）分析
※キーワード（発明の名称、要約、請求の範囲から抽出）においては、
下記3グループの観点からも分析を行った。
①露光種類系キーワード（紫外線露光・光露光、密着露光など13個）
②露光制御系キーワード（光線、露光量など13個）
③手段・装置系キーワード（基板処理手段・装置など20個）
④目的・効果系キーワード（高精度、容易など18個）
⑤基板系キーワード（ガラス基板、シリコン基板など13個）
Ⅱ． パテントチャート編
Ⅲ． 総括コメント
４．本報告書の特徴
● 「半導体露光装置」に関する技術動向が分かりやすく把握できる
● パテントマップおよびパテントチャートで視覚的に理解しやすい
● パテントマップViewer（添付ソフト）により、パテントマップおよびパテントチャートの
当該部分に含まれる特許の詳細内容を調べることができる
【詳細】
Ⅰ．パテントマップ編
Ａ．全般分析
A-1．全体の技術開発ライフサイクル
A-2．公開件数の推移（年次と累計）
A-3．出願人数の推移（年次と累計）
A-4．新規発明者数の推移（年次と累計）
A-5．新規FIメイングループ分類数の推移（年次と累計）
A-6．新規FIサブグループ分類数の推移（年次と累計）
A-7．新規Fターム分類数の推移（年次と累計）
A-8．出願人別公開件数ランキング（上位100）
A-9．発明者別公開件数ランキング（上位50）
A-10．FIメイングループ分類別公開件数ランキング(上位50)
A-11．FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位100)
A-12．Fタームテーマコード分類別公開件数ランキング（上位50）
A-13．Fターム分類別公開件数ﾗﾝｷﾝｸﾞ（上位100）
A-14．1位Fタームテーマコード(5F146)の技術分類別件数（観点×数字）
A-15．2位Fタームテーマコード(2H025)の技術分類別件数（観点×数字）
A-16．発明者別公開件数グロスランキング（上位20）
A-17．出願人別参入・撤退状況（最近40、公開件数5件以上）
A-18．FIメイングループ分類別出現・消失状況（公開件数上位40）
A-19．FIサブグループ分類別出現・消失状況（公開件数上位40）
A-20．Fターム分類別出現・消失状況（最近40、公開件数5件以上）
A-21．出願人別公開件数伸長率（上位50、件数差15件以上）
A-22．発明者別公開件数伸長率（上位50、件数差35件以上）
A-23．FIメイングループ分類別公開件数伸長率（上位50、件数差7件以上）
A-24．FIサブグループ分類別公開件数伸長率（上位50、件数差10件以上）
A-25．Fターム分類別公開件数伸長率（上位50、件数差600件以上）
A-26．FIメイングループ分類別発明者数伸長率（上位50、発明者数差20名以上）
A-27．FIサブグループ分類別発明者数伸長率（上位50、発明者数差25名以上）
A-28．Fターム分類別発明者数伸長率（上位50、発明者数差500名以上）
Ｂ．詳細（出願人、特許分類、キーワード）分析
B-1．上位20出願人比較分析
B-1-1．公開件数比較（期間着目：2期間+全体）
B-1-2．公開件数の推移（累計）
B-1-3．共同出願人数の推移（累計）
B-1-4．新規発明者数の推移（累計）
B-1-5．新規FIメイングループ分類数の推移（累計）
B-1-6．新規FIサブグループ分類数の推移（累計）
B-1-7．新規Fターム分類数の推移（累計）
B-1-8．新規キーワード数の推移（累計）
B-1-9．上位20FIメイングループ分類との公開件数相関
B-1-10．上位20FIサブグループ分類との公開件数相関
B-1-11．上位20Fターム分類との公開件数相関
B-1-12．Fタームテーマコード分類ランキング2位と3位における公開件数比較
B-1-13．種類系キーワードとの公開件数相関
B-1-14．露光制御系キーワードとの公開件数相関
B-1-15．手段・装置系キーワードとの公開件数相関
B-1-16．目的・効果系キーワードとの公開件数相関
B-1-17．基板系キーワードとの公開件数相関
B-1-18．露光種類系キーワードとの発明者数相関
B-1-19．露光制御系キーワードとの発明者数相関
B-1-20．手段・装置系キーワードとの発明者数相関
B-1-21．目的・効果系キーワードとの発明者数相関
B-1-22．基板系キーワードとの発明者数相関
B-1-23．公開件数占有率
B-1-24．公開件数の伸びと１位Fターム分類[2H025AB16]に関する構成率比較
B-1-25．発明者数＊FIサブグループ分類数の比較
B-2．上位５出願人個別分析
B-2-1-*．FIサブグループ分類別公開件数ランキング(上位50)
B-2-2-*．Fターム分類別公開件数ランキング(上位50)
B-2-3-*．FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
B-2-4-*．Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
B-2-5-*．FIサブグループ分類別出現・消失状況（最近40）
B-2-6-*．キーワード別出現・消失状況（最近40、公開件数5件以上）
B-2-7-*．独自FIサブグループ分類別公開件数ランキング
B-2-8-*．独自キーワード別公開件数ランキング（上位50）
B-2-9-*．共同出願人との連携
注：*は、上位5出願人が該当。
B-3．ニコン、キヤノン2社分析
B-3-1．2社の上位10FIサブグループ分類別公開件数の推移（年次）
B-3-2．2社のニコン上位10FIサブグループ分類別公開件数比較
B-3-3．2社のキヤノン上位10FIサブグループ分類別公開件数比較
B-3-4．2社のFIサブグループ分類別出現・消失状況（公開件数上位20）
B-3-5．2社のFターム分類別出現・消失状況（公開件数上位20）
B-3-6．ニコンの公開件数伸長率変遷
B-3-7．キヤノンの公開件数伸長率変遷
B-3-8．2社とFターム分類（上位20）との公開件数相関
B-3-9．Fターム分類別公開件数グロスランキング（上位10）
B-4．上位特許分類分析
B-4-1．FIメイングループ分類別公開件数比較（上位20）（期間着目：2期間+全体）
B-4-2．FIサブグループ分類別公開件数比較（上位20）（期間着目：2期間+全体）
B-4-3．Fターム分類別公開件数比較（上位20）（期間着目：2期間+全期間）
B-4-4．FIメイングループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
B-4-5．FIサブグループ分類別公開件数の推移(上位20、累計)
B-4-6．Fターム分類別公開件数の推移(上位20、累計)
B-4-7．FIメイングループ分類別出願人数の推移(上位20、年次)
B-4-8．FIサブグループ分類別出願人数の推移(上位20、年次)
B-4-9．Fターム分類別出願人数の推移(上位20、年次)
B-4-10．FIメイングループ分類別発明者数の推移(上位20、年次)
B-4-11．FIサブグループ分類別発明者数の推移(上位20、年次)
B-4-12．Fターム分類別発明者数の推移(上位20、年次)
B-4-13．FIメイングループ分類別公開件数占有率（公開件数上位20）
B-4-14．FIサブグループ分類別公開件数占有率（公開件数上位20）
B-4-15．Fターム分類別公開件数占有率（公開件数上位20）
B-5．特定特許分類分析
B-5-1．特定FIサブグループ分類の公開件数の推移（年次）
B-5-2．特定Fターム分類の公開件数の推移（年次）
B-5-3．特定FIサブグループ分類の新規出願人数の推移（年次）
B-5-4．特定Fターム分類の新規出願人数の推移（年次）
B-5-5．特定FIサブグループ分類の新規発明者数の推移（累計）
B-5-6．特定Fターム分類の新規発明者数の推移（累計）
B-5-7．特定FIサブグループ分類H01L21/30の公開件数伸長率変遷
B-5-8．特定FIサブグループ分類G03F7/20の公開件数伸長率変遷
B-5-9．特定Fターム分類2H025AB16の公開件数伸長率変遷
B-5-10．特定Fターム分類5F146BA03の公開件数伸長率変遷
B-5-11．特定FIサブグループ分類H01L21/30の出願人別公開件数ランキング(上位50)
B-5-12．特定FIサブグループ分類G03F7/20の出願人別公開件数ランキング(上位50)
B-5-13．特定Fターム分類2H025AB16の出願人別公開件数ランキング(上位50)
B-5-14．特定Fターム分類5F146BA03の出願人別公開件数ランキング(上位50)
B-6．キーワード分析
B-6-1．キーワード別公開件数ﾗﾝｷﾝｸﾞ（上位100）
B-6-2．キーワード別出現・消失状況（最近200、公開件数10件以上）
B-6-3．キーワード別公開件数の伸長率（上位50、件数差30件以上）
B-6-4．露光種類系キーワードの公開件数の推移（累計）
B-6-5．露光制御系キーワードの公開件数の推移（累計）
B-6-6．手段・装置系キーワードの公開件数の推移（累計）
B-6-7．目的・効果系キーワードの公開件数の推移（累計）
B-6-8．基板系キーワードの公開件数の推移（累計）
B-6-9．露光種類系キーワードの出願人数の推移（累計）
B-6-10．露光制御系キーワードの出願人数の推移（累計）
B-6-11．手段・装置系キーワードの出願人数の推移（累計）
B-6-12．目的・効果系キーワードの出願人数の推移（累計）
B-6-13．基板系キーワードの出願人数の推移（累計）
B-6-14．露光種類系キーワードの新規発明者数の推移（累計）
B-6-15．露光制御系キーワードの新規発明者数の推移（累計）
B-6-16．手段・装置系キーワードの新規発明者数の推移（累計）
B-6-17．目的・効果系キーワードの新規発明者数の推移（累計）
B-6-18．基板系キーワードの新規発明者数の推移（累計）
B-6-19．露光種類系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
B-6-20．露光制御系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
B-6-21．手段・装置系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
B-6-22．目的・効果系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
B-6-23．基板系キーワードの公開件数の伸びと構成率比較
B-6-24．露光種類系キーワードと露光制御系キーワードの公開件数相関
B-6-25．露光種類系キーワードと手段・装置系キーワードの公開件数相関
B-6-26．露光種類系キーワードと目的・効果系キーワードの公開件数相関
B-6-27．露光種類系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関
B-6-28．露光制御系キーワードと手段・装置系キーワードの公開件数相関
B-6-29．露光制御系キーワードと目的・効果系キーワードの公開件数相関
B-6-30．露光制御系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関
B-6-31．手段・装置系キーワードと目的・効果系キーワードの公開件数相関
B-6-32．手段・装置系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関
B-6-33．目的・効果系キーワードと基板系キーワードの公開件数相関
Ⅱ．パテントチャート編
C-１．小松製作所の時系列チャート分析（2009年～2010年）
C-２．三菱電機の時系列チャート分析（2009年～2010年）
C-３．小松製作所の上位3FIメイングループ分類と上位3発明者のマトリクスチャート分析（2009年～2010年）
C-４．三菱電機の上位3FIメイングループ分類と上位3発明者のマトリクスチャート分析（2009年～2010年）
Ⅲ．総括コメント
参考資料
【資料１】出願人統合リスト
【資料２】パテントマップ・パテントチャートの種別と見方
【資料３】パテントマップViewer（添付ソフト）の使い方